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一、產品說明 ZDF―Ⅳ型系列電阻/電離復合真空計是基于低真空測量電阻單元(ZJ-52T電阻規(guī))與真空測量電離單元(ZJ-12B-A規(guī))技術組合，以完成1×105~1×10-8Pa的測量與控制